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BGA、CSP等のはんだ付け不良は、はんだ未接続、ショート等がありますが、 はんだ接続がパッケージ下面にて行われるため、光学系の検査装置では検査できません。 透過式x線装置の場合、ショート不良は検査できますが、はんだ未接続の不良は検査できません。
そこでパッケージ下面等見えないところの外観検査には3次元式の検出法があります。 X線のスキャンビームを用いたラミノグラフィイ法とトモシンセス法が該当します。 図1-4-2に,3次元検査方式の概略図を示します。