大容量メモリとのSiPを可能にする極薄フィードスルーインターポーザーを開発
従来のパッケージ内配線の約半分となる線幅15μmの銅めっき配線と7μm厚のポリイミド樹脂による「スーパーコネクト」技術を用いて、厚さわずか15μmのインターポーザ(FTI: Feedthrough Interposer)を開発。
これにより、50μmピッチのLSI配線と500μmピッチのパッケージ外部端子という寸法差が二桁以上もある配線同士を接続できるため、ロジック−メモリ間の配線をパッケージ端子まで引き出すことができ、同時に50μmの狭ピッチのバンプ接続が実現できる。
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