世界最先端のシステムＬＳＩ工場の竣工について

ＮＥＣ（代表取締役社長：西垣　浩司、本社：東京都港区）およびＮＥＣ山形（社長：堺　満雄、本社：山形県山形市）の両社はこのたび、世界最先端のシステムＬＳＩの生産を目的とする半導体生産ラインをＮＥＣ山形・鶴岡工場（山形県鶴岡市）の敷地内に建設してまいりましたが、このほど竣工の運びとなりました。

新工場「第５拡散ライン」は、鉄筋コンクリート３階建て、延べ床面積２１，０００ｍ^２、２〜３階にクリーンルーム９，０００ｍ^２の規模で、最先端の０．１３μｍ微細加工技術に対応した世界初の半導体量産工場となっております。また、高信頼性・高速動作を実現する銅配線技術を採用したＬＳＩの生産も５月から開始する予定であります。新工場への投資金額は７８０億円であり、生産能力は８インチ・ウエハで月産６千枚となっております。

１９９０年代から急速に立ち上がったインターネットの波が経済社会全体を大きく変えつつあります。今後、デジタル放送、次世代移動通信、ホームネットワークなどの次世代プラットフォームが出現し、ＰＣだけでなく、テレビ、ゲーム機、携帯端末、自動車などがすべてインターネットにつながるようになります。これらの機器は、ネットワークに接続されることでさまざまなデータを取り込むようになるため、そこには高性能でコストパフォーマンスの高いシステムＬＳＩが必須となります。

ＮＥＣは、このようなインターネットの普及・拡大に伴い今後、需要の急増が見込まれるＤＶＤやセットトップボックスなどのデジタル家電、携帯電話、およびネットワーク機器向けなどのインターネット関連システムＬＳＩを強化するため、新たに８２０億円を投資し、銅配線設備の拡充するとともに、１階部分に５，０００ｍ２のクリーンルームを設置し、０．１０μｍの最先端プロセスの導入、生産能力の２万枚までの増強を２００２年度までに行う予定です。

ＮＥＣは、旺盛な半導体需要に対応するため、今年度の半導体の設備投資額として２，０００億円（前年度比５００億円増）を計画しており、この内、ＮＥＣ山形への今年度の設備投資額は２００億円を見込んでおります。

新工場の主な特長は以下の通りとなっております。

1. ＮＥＣのエンジニアのみならず、設備メーカーのご協力により２４時間対応で作業を進めることにより、量産立ち上げにかかる期間を従来の約半分に短縮した「世界最速立ち上げ」
2. 生産管理システムや搬送装置の高度化により、工程進度で世界最速を目指し、生産リードタイムを短縮する超高速のシステムＬＳＩ専用ライン
3. エネルギー使用効率を高めるコ・ジェネレーションの採用や廃棄物ゼロ化など、地球環境に配慮したエコファクトリー

ＮＥＣおよびＮＥＣ山形の両社は、新工場が地元の方々のご協力を賜り、世界に誇りうる最新鋭の工場になることにより、地域の一層の活性化に貢献することを期待しております。

なお、ＮＥＣ山形ならびに新工場の概要は別紙をご参照下さい。

以　上