読み方：　スパッタリング
フルスペル：　Sputtering

物質表面に薄膜を作る技術のひとつ。溶射法ともいう。薄膜で覆いたい物質と膜材料（ターゲット）とを真空中に置き、高速に加速したアルゴンや電子などをターゲットに当てる。

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