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2005年6月14日から18日まで、京都市のリーガロイヤルホテルで、最先端のデバイス、プロセスや回路技術が発表される「VLSIシンポジウム (2005 Symposia on VLSI Technology and Circuits) 2005」が開催されました。今回は、「VLSIシンポジウム」で当社とNECが共同で発表した研究成果をご紹介します。
VLSIシンポジウムは半導体電子デバイス/回路技術分野においてIEDM(International Electron Devices Meeting)、ISSCC(International Solid State Circuits Conference)とならぶ大きな学会で、デバイス/プロセスをテーマとするVLSI Technologyと回路技術をテーマとするVLSI Circuitsで構成されています。今年、VLSI Technology学会では255件の投稿論文から90件が採択されました。メタルゲートや歪みSiチャネルなどのフロントエンドの論文が増えており、他にSRAMのテーマも多くなっています。またVLSI Circuits学会では259件の投稿論文から92件が採択され、UWB(Ultra Wide Band)、マイクロプロセッサなどのテーマが報告されました。
会期中はそれぞれの学会にShort Courseが併設され、VLSI Technology学会では45/32nmノードの技術、VLSI Circuits学会ではマイクロプロセッサ用のマルチGHzクロックをテーマをとりあげたレクチャーが開催されました。
NECグループからはVLSI Technology学会に4件、VLSI Circuits学会に1件の論文が採択されました。そのうち、NECエレクトロニクスはNECと共同で3つの論文を発表しました。
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