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NECエレクトロニクスでは、工場やオフィスでのエネルギー使用の合理化(省エネ装置の開発・導入、製造プロセスの改良・簡素化など)によるCO2の排出量削減、製造プロセスに投入している温暖化ガス(PFCガス)の排出量削減(温暖化ガスの代替化、使用量削減、除害・回収技術開発)を進めています。
エネルギー消費量に関して、NECエレクトロニクスグループは2010年度までに実質生産高原単位で1990年度の65%以下を目標にしています。これまで、無駄なエネルギーの排除、製造プロセスの抜本的見直しをはじめ、半導体業界活動に積極的に参画し、生産設備業界・付帯設備業界との連携をはかりながら、省エネルギー対策活動を積極的に推進してきました。さらに最近では、生産効率の向上という視点も加えて、エネルギー対策を推進しています。
PFC*1等は半導体製造工程で装置クリーニングガス等に使用しており、大気寿命が長く、温暖化係数(GWP:Global Warming Potential)もCO2の1万倍程度と高いため、その排出量削減が重要な課題となっています。当社では2010年までに、PFCによる温暖化ガス排出量を1995年の90%以下にすることを目指し技術開発を行ってきました。使用条件最適化・代替化ガス適用・分解設備設置等の排出削減活動により、目標を達成する目処が立ちました。今後、これらの技術を量産工場に順次展開し、地球温暖化の原因となる温室効果ガスの排出削減を行っていきます。